Sic örtülmüş dərin uv led suseptor

Sic örtülmüş dərin UV LED Suseptor, əsas hesablanan komponentdirMOCVD (metal üzvi kimyəvi buxarlanma çökməsi) Avadanlıqları. Suseptor, xüsusilə yüksək alüminium məzmunu olan alüminium məzmunu olan alüminium nitrid (ALN) epitaksial qatının dərinliyinə, qalınlığına və maddi keyfiyyətinin vahidliyinə, qalınlığına və maddi keyfiyyətinə təsir göstərir.

Sic Coated Deep UV LED Suseptor, dərin UB LED Epitaxy üçün xüsusi olaraq optimallaşdırılmış və dəqiq bir proses tələblərinə cavab vermək üçün istilik, mexaniki və kimyəvi ekoloji xüsusiyyətlər əsasında hazırlanmışdır.

Vetek yarımkeçiricisi, temperatur gradientinin səbəb olduğu epitaksial qatın vahid böyüməsinin qarşısını alan, əməliyyat temperaturu aralığının vahid istilik diapazonunu təmin etmək üçün qabaqcıl emal texnologiyasından istifadə edir. Həssas emal yerüstü pürüzlülüyü idarə edir, hissəciklərin çirklənmələrini minimuma endirir və vafli səthi kontaktının istilik keçiriciliyini yaxşılaşdırır.

Vetek yarımkeçiricisi SGL qrafitindən material olaraq və səthi ilə müalicə olunurCVD sic örtükNH3, HCL və yüksək temperatur atmosferinə uzun müddət dözə biləcək. Vetek yarımkeçiricinin SIC örtülmüş dərin UV LED Suseptor, bu müddət ərzində istilik stressi nəticəsində, vafli çubuğu və ya çatlamağın azaldılması və ya çatlamağın azaldılması və ya çatlamasının azaldılması və ya çatlamağın azaldılması.

Ən əsası, Vetek yarımkeçiricinin sic örtülmüş dərin UV LED Suseptor, əsas mocvd avadanlıqlarına mükəmməl uyğunlaşır (VeeCo K465i, Epik 700, Aixtron Crius və s.) Wafer ölçüsü (2 ~ 8 düym), vafli yuvası dizaynı, emal temperaturu və digər tələblər üçün xüsusi xidmətləri dəstəkləyir.

Tətbiq ssenariləri:

● Dərin UV LED hazırlığı: 260 NM (UV-C dezinfeksiya, sterilizasiya və digər sahələr) qrupdakı cihazların epitaksial prosesi üçün tətbiq olunur.

● Nitrit yarımkeçirici epitaxy: Gallium nitridi (gan) və alüminium nitridi (ALN) kimi yarımkeçirici materialların epitaksial hazırlığı üçün istifadə olunur.

● Tədqiqat səviyyəli epitaxial təcrübələr: Dərin UV epitaxy və universitetlərdə və tədqiqat müəssisələrində yeni material inkişaf təcrübələri.

Güclü bir texniki heyətin dəstəyi ilə Vetek Yarımkeçirici, müştəri ehtiyaclarına görə unikal spesifikasiyalar və funksiyaları olan süzünçəkləri inkişaf etdirməyə, xüsusi istehsal proseslərini dəstəkləyir və uzunmüddətli xidmətlər göstərir.

CVD SIC örtüklü filmin sem məlumatları:

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri:

YarımkeçiriciSIC örtülmüş dərin UV LED Suseptor Məhsul mağazaları: