Yarımkeçirici Kvars Zəng Kavanozu

ÇəkməYarımkeçiriciKvars zəng qabıYarımkeçirici emalda birdən çox açar rol oynayır. bu zəngli banka vakuum sistemiyalnız sabit və idarə olunan reaksiya mühitini təmin etmir, həm də əla istilik sabitliyi, kimyəvi təsirsizliyi və optik şəffaflığı sayəsində müxtəlif proseslərin səmərəliliyini və dəqiqliyini təmin edir. Bu xüsusiyyətlər də bunu müəyyən edirzəngli vakuum kamerasıyarımkeçirici istehsal prosesində əvəzsiz bir komponent məhsuludur.

ÇəkməYarımkeçirici Kvars nəzarət olunan şəraitdə texnoloji qazların bərabər paylanmasına və vafli səthi ilə reaksiyaya girməsinə imkan verən möhürlənmiş emal mühiti yaradır. Buna görə də,Yarımkeçirici Kvars Zəng Kavanozuadətən CVD, diffuziya və oksidləşmə kimi proseslərdə atmosferin tərkibini və təzyiqini dəqiq idarə etmək üçün istifadə olunur və bununla da filmin vahidliyini və materialın saflığını təmin edir.

Eyni zamanda, kvars materiallarında əla istilik sabitliyi, yüksək temperatur müqaviməti (yarımkeçirici emalda yüksək temperatur mühiti ümumiyyətlə 1000 ° C və ya daha yüksəkdir) və istilik və soyutma zamanı sabit forma və ölçülü məhsul xüsusiyyətləri olan məhsul xüsusiyyətləridir. Bu bunu müəyyənləşdirirKvars zəng qabıDiffuziya və oksidləşmə şəraitində vaffer səthinin temperaturunun vahidliyini təmin edə bilər, bununla da depozit edilmiş və ya yayılmış təbəqənin keyfiyyətini və vahidliyini yaxşılaşdırmaqla təmin edə bilər.

Daha önəmlisi,Çəkməyarımkeçiricisi yüksək saflıq kvars yüksək temperaturlu mühitlərdə proses qazları ilə reaksiya vermək asan deyil və güclü korroziyaya davamlıdır. Bu məhsul xarakteristikası müəyyən edir ki, aşındırıcı qazlardan istifadə edilən proseslərdə (məsələn, bəzi CVD prosesləri kimi),Yarımkeçirici Kvars Zəng Kavanozukimyəvi sabitliyi tam saxlaya bilir və bununla da yarımkeçirici cihazların çirklənməsinin qarşısını alır.

VeTek yarımkeçiriciKvars zəng qabı:

Yarımkeçirici Chip Epitaxy Sənaye Zəncirinə Baxış: