PZT Piezoelektrik Vaflilər (Si/SOI üzrə PZT)

1. Texniki Memarlıq

Bizim gofretlərimiz mürəkkəb MEMS emalı zamanı optimal yapışma, keçiricilik və pyezoelektrik reaksiyanı təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuş mürəkkəb çoxqatlı yığın strukturuna malikdir:

 ●Üst Elektrod (Açar Layer): Pt (Platinum).

● Piezo Layer (Əsas təbəqə): PZT.

● Ara qatlar: Taxıl oriyentasiyasını və struktur sabitliyini optimallaşdırmaq üçün Bufer Qatı, Alt Elektrod və Yapışma Layeri daxildir.

● Substrat: Si və ya SOI vafliləri ilə uyğun gəlir.

2. Keyfiyyət Təminatı və Mikrostruktur Təhlili

Biz ciddi texniki xarakteristikalar vasitəsilə yüksək etibarlılığı təmin edirik:

 ●SEM təhlili: Skan edən Elektron Mikroskopiya (SEM) şəkilləri yüksək etibarlılığa malik MEMS tətbiqləri üçün ideal olan vahid taxıl ölçüsü paylanması ilə sıx, çatsız səth morfologiyasını ortaya qoyur.

 ●XRD xarakteristikası: X-Ray Difraksiyası (XRD) nümunələri, maksimum pyezoelektrik performans əmsallarını təmin edərək, güclü (100) üstünlük verilən oriyentasiya ilə təmiz perovskit fazasının formalaşmasını təsdiqləyir.

3. Texniki Spesifikasiyalar (Xüsusiyyətlər)

4. Əsas Tətbiqlər

 ● Piezoelektrik Mikromaşınlanmış Ultrasonik Transduserlər (pMUT): Barmaq izi sensorları, jestlərin tanınması və avtomobil ultrasəs radarı üçün yüksək tezlikli miniatürləşdirilmiş massivlər.

 ● Ünsiyyət: Daha geniş bant genişliyinə və daha az daxiletmə itkisinə nail olmaq üçün 5G/6G-də FBAR və ya SAW filtrlərinin istehsalı üçün açar.

 ● Akustik MEMS: MEMS dinamikləri üçün güclü keçici reaksiya təmin edir və MEMS mikrofonları üçün Siqnaldan Səs nisbətini (SNR) yaxşılaşdırır.

 ● Dəqiq Maye Nəzarəti: Mürəkkəb püskürtməli çap başlıqlarında damlacıqların həcminə nanolitr miqyaslı dəqiq nəzarət üçün d31 rejimi vasitəsilə yüksək sürətli vibrasiya.

 ● Tibb və Gözəllik (Mikro nasos): Yüksək etibarlılığa və yığcam ölçüyə malik tibbi nebulizerləri və ya kosmetik ultrasəs nasoslarını idarə edir.

5. Fərdiləşdirmə Xidmətləri

Si vaflilərində standart çöküntüdən əlavə, biz həmçinin xüsusi çökmə xidmətləri təqdim edirik:

 ●Film və qalınlığın fərdiləşdirilməsi: Dizayn tələblərinə uyğun olaraq xüsusi film növlərinin və xüsusi qalınlıqların çökdürülməsi.

 ●OEM tökmə zavodu: Yüksək keyfiyyətli pyezoelektrik nazik təbəqənin böyüməsi üçün müştərilərdən tədarük olunan vaflilərin qəbulu.

 ●SOI Substrat Dəstəyi: Aşağıdakı spesifikasiyalara malik SOI vaflilərə xüsusi çöküntü: