Yüksək Saflıqda Kvars Vafli Daşıyıcı

1. Əsas Xüsusiyyətlər və Üstünlüklər

• Ultra yüksək saflıqda dehidroksilləşdirilmiş əridilmiş kvars (SiO₂ ≥ 99,999%) metal çirkləri ilə ppb səviyyələrində idarə olunur - vafli çirklənməni minimuma endirir

• 1100 ° C-ə qədər uzunmüddətli işləmə temperaturu; 1200 °C-ə qədər qısamüddətli zirvə müqaviməti

• Tez-tez temperatur dövriyyəsi altında əla termal şok müqaviməti və ölçülü sabitlik

• Oksidləşdirici proses qazlarına və ümumi yaş proses kimyəvi maddələrinə (HF, H₂O₂, turşular/qələvilər) qarşı güclü kimyəvi təsirsizlik

• Vahid vafli dəstəyi və kənarların zədələnməsini azaltmaq üçün yuvarlaq kənarları olan yüksək düzlük və dəqiqlikli torpaq səthi

• Aşağı vakuum qazı çıxarma və aşağı səth adsorbsiya - dəqiq vakuum prosesləri üçün uyğundur

• Tamamilə fərdiləşdirilə bilən strukturlar: bərk daşıyıcılar, perforasiya edilmiş/ventilyasiya edilmiş dizaynlar, pilləli yerləşdirmə xüsusiyyətləri, yerləşdirmə dəlikləri, çox nöqtəli dayaqlar və 2-12 düymlük vaflilər üçün qalınlaşdırılmış anti-deformasiya dizaynları

2. Tipik Tətbiqlər

Bu daşıyıcılar vaflilərin yüksək temperatur və ya aqressiv kimya altında təmiz, ölçülü sabit dəstəyə ehtiyacı olduğu yerlərdə istifadə olunur:

• Diffuziya və tavlama sobasının yüklənməsi

• PECVD və LPCVD film böyümə prosesini dəstəkləyir

• Vakuum kamerası və yüksək temperatur proses alətləri

• Aşınma sonrası qurutma və nəm təmizləmə stansiya daşıyıcıları

• SiC və GaN güc cihazlarının istilik emalı

• Optoelektron substratla işləmə və laboratoriya istilik alətləri

3. Əsas Texniki Parametrlər

• Əsas material: yarımkeçirici dərəcəli dehidroksilləşdirilmiş əridilmiş kvars, SiO₂ ≥ 99,999%

• Uyğun vafli ölçüləri: 2, 4, 6, 8 və 12 düym (Si, SiC, GaN, sapfir)

• Tövsiyə olunan davamlı temperatur diapazonu: −20 °C - 1100 °C; təxminən 1200 °C-ə qədər qısamüddətli pik

• İstehsal marşrutu: bir parça formalaşdırma, dəqiq səthin üyüdülməsi, kənarların yuvarlaqlaşdırılması, gərginliyi aradan qaldıran yumşalma və son dərəcə təmiz son təmizləmə

• Mövcud konfiqurasiyalar: bərk, havalı/delikli, pilləli yerləşdirmə, deşik naxışlı və tam fərdi həndəsələr

• Performans diqqəti: yüksək təmizlik, termal sabitlik, korroziyaya davamlılıq, səthin hamarlığı, aşağı qaz buraxma və uzunmüddətli ölçü saxlama

• Fərdiləşdirmə əhatə dairəsi: xarici ölçülər, qalınlıq, dəstək həndəsəsi, deşik planı və müştəri təsvirlərinə əsaslanan xüsusi xüsusiyyətlər

4. Niyə VeTek Yüksək Təmizlikdə Kvars Vafli Daşıyıcılarını Seçməlisiniz?

Yarımkeçirici kvars komponentlərinin peşəkar istehsalçısı kimi VeTek Semiconductor təklif edir:

• Termal, vakuum və nəm proses mühitləri üçün hazırlanmış yüksək təmizlikli kvars vafli daşıyıcıları

• Qabaqcıl yarımkeçirici istehsalı üçün uyğun olan ciddi təmizliyə nəzarət, səthin hamarlığı və təmizlik

• Ocaq, kamera və texnoloji stansiya alətləri üçün tam fərdiləşdirmə və OEM-ə uyğun dizaynlar

• Tamamlayıcı yarımkeçirici kvars məhsulları, o cümlədən soba boruları, vafli qayıqlar, tigelər və digər proses komponentləri

Yüksək Təmizlikdə Kvars Vafli Daşıyıcılarımız vahid istilik təması saxlamağa, hissəciklər və metal çirklənməsini azaltmağa və davamlı yüksək temperatur və korroziyalı proses şəraitində alətlərin ömrünü uzatmağa kömək edir - yarımkeçiricilərin istehsalında daha yüksək məhsuldarlığı və daha aşağı sahiblik dəyərini dəstəkləyir.