Məhsullar
Dəyişiklik üçün üzük
  • Dəyişiklik üçün üzükDəyişiklik üçün üzük
  • Dəyişiklik üçün üzükDəyişiklik üçün üzük

Dəyişiklik üçün üzük

Davamlama üçün diqqət üzükləri prosesin dəqiqliyini və sabitliyini təmin etmək üçün əsas komponentdir. Bu komponentlər, plazma paylanmasının, kənar temperaturun və elektrik sahəsinin vahidliyini dəqiq nəzarət etməklə vaffer səthində nanoskale quruluşlarının vahid səthində vahid yerləşdirilməsini dəqiq şəkildə toplanmışdır.

Monokristal silikon tirching üzükləri, plazma mühiti sabitliyini qorumaq, qorumaq, resurs istifadəsini optimallaşdırmaq və inkişaf etmiş proses tələblərinə uyğunlaşdırmaqla yarımkeçirici oyun proseslərində vacib komponentlərdir. Onun performansı birbaşa çip istehsalının məhsuldarlığına və maya dəyərinə təsir göstərir.


Etched Focus Ring, elektrod və s. Bu komponentlər dəqiq bir CVD vakuum palatasında, tirzulama və film avadanlıqlarında dəqiq şəkildə toplanır və birbaşa kənardan voberin mərkəzinə qədər düzgünlüyünü və məhsuldarlığını müəyyənləşdirir.


Yüksək səviyyəli istehsal proseslərində maddi xüsusiyyətlərə ciddi tələbatına cavab olaraq, Veteksemi, fokuslu üzüklər və istehlak materiallarını istehsal etmək üçün 10-20ω · sm-nin müqavimət göstərməsi ilə yüksək saflıq monokristal silikon istifadə edərək yenilik edir. Maddi elmlərin, elektrik dizaynı və termodinamikaların birgə optimallaşdırılması yolu ilə Veteksemi, diqqət mərkəzində olan üzüklər və istehlak materiallarını dəstəkləmək iqtidarındadır. Uzunömürlülük, dəqiqlik və xərc effektivliyində irəliləyiş yaxşılaşdırmalarına nail olmaq üçün ənənəvi kvars həllərinin hərtərəfli üstünə düşür.


Focus ring for etching diagram


Əsas material müqayisə və müqavimət optimallaşdırılması

Monokristallik silikon vs. Kuartz


Layihə
Monokristallik Silikon Fokusu Üzük (10-20 ω · CM)
Kvars fokus halqası
Plazma korroziyasına qarşı müqavimət
Həyat 5000-8000 gofret (flüor / xlor əsaslı bir proses)
Həyat SPAN 1500-2000 Wafters
İstilikkeçirmə
149 w / m · k (sürətli istilik dağılması, δt dalğalanması ± 2 ℃)
1.4W / M · K (δt dalğalanması ± 10 ℃)
İstilik genişləndirilməsi əmsalı
2.6 × 10⁻⁶ / K (gofret uyğun, sıfır deformasiya)
0.55 × 10⁻⁶ / K (asan yerdəyişmə)
Dielektrik itkisi
tanδ <0.001 (dəqiq elektrik sahəsinə nəzarət)
Tanδ ~ 0.0001 (elektrik sahəsinin təhrifi)
Səthi pürüzlülük
Ra <0.1μm (sinif 10 təmizlik standartı)
Ra <0.5μm (yüksək hissəcik riski)


Məhsul nüvəsi Advantage


1. Atom səviyyəli prosesin dəqiqliyi

Rabitə optimallaşdırılması + Ultra-Həssas Cilalama (ra <0.1μm), yarı F47 standartlarına cavab vermək üçün mikro axıdma və hissəcik çirklənməsini aradan qaldırır.

Dielektrik itkisi (Tanδ <0.001), Edge Elektrik Sahəsi təhrifindən qaçaraq 3D Nand 89.5 ° ° ± 0.3 ° şaquli dərin çuxurdan çəkinin.


2. Ağıllı sistem uyğunluğu

ETC Edge Temperatur Nəzarət Modulu ilə inteqrasiya olunmuş, soyutma hava axını, kamera termal sürüşməsini kompensasiya etmək üçün termojuft və AI alqoritmi ilə dinamik olaraq tənzimlənir.

Amat Centura, Lam Tədqiqatları Kiyo və ICP / CCP plazma mənbələri kimi əsas maşınlar üçün uyğun olan xüsusi RF uyğun şəbəkəsini dəstəkləyin.


3. Hərtərəfli xərc səmərəliliyi

Monokristal silikonun həyatı kvarsdan 275% uzun, təmir dövrü 3000 saatdan çoxdur və mülkiyyətin hərtərəfli dəyəri (TCO) 30% azalır.

Müqavimət Gradient Özelleştirme Xidməti (5-100ω · CM), müştəri prosesinin pəncərəsinə (məsələn, GAN / SIC geniş band boşluğu materialları kimi) uyğunlaşdırılır.


Müqavimətin təsiri


Layihə
Monokristallik Silikon Fokusu Üzük (10-20 ω · CM)
Yüksək müqavimət monokristal silikon (> 50 ω · sm)
Kvars fokus halqası
Saflıq
> 99.9999%
> 99.9999%
> 99.99%
Korroziya həyatı (gofret sayı)
5000-8000
3000-5000
1500-2000
Termal şok sabitlik
Δt> 500 ℃ / s
Δt> 300 ℃ / s
Δt <200 ℃ / s
Sızma cari sıxlığı
<1 μa / sm²
/ /
Gofret məhsulu artır
+ 1.2% ~ 1.8%
+ 0.3% ~ 0.7%
Baza dəyəri

Məhsul Ticarət şərtləri


Minimum sifariş miqdarı
1 dəst
Qiymət
Xüsusi kotirovka üçün əlaqə
Qablaşdırma təfərrüatları
Standart İxrac paketi
Çatdırılma müddəti
Çatdırılma müddəti: Sifariş təsdiqləndikdən 30-35 gün sonra
Ödəniş şərtləri
T / t
Təchizat qabiliyyəti
600 dəst / ay


Focus ring for etching working diagram

Qaynar Teqlər: Dəyişiklik üçün üzük
Sorğu göndərin
Əlaqə məlumatı
Silikon Karbid Kaplama, Tantal Karbid Kaplama, Xüsusi Qrafit və ya qiymət siyahısı ilə bağlı suallarınız üçün bizə e-poçtunuzu buraxın və biz 24 saat ərzində əlaqə saxlayacağıq.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept