CVD SIC Pancake Suseptor

Yarımkeçirici CVD SIC Pancake Suseptor, əla davamlılığı və həddindən artıq temperatur uyğunluğunu təmin etmək üçün ən son kimyəvi buxar depor (CVD) texnologiyasından istifadə edərək istehsal olunur. Aşağıdakılar onun əsas fiziki xüsusiyyətləridir:

● Termik sabitlik: CVD SIC-nin yüksək istilik sabitliyi yüksək temperatur şəraitində sabit performans təmin edir.

● Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı: Material, temperatur dəyişiklikləri nəticəsində meydana gələn və deformasiyanı minimuma endirən həddindən artıq aşağı istilik genişləndirmə əmsalı var.

● Kimyəvi korroziya müqaviməti: Əla kimyəvi müqavimət, müxtəlif sərt mühitlərdə yüksək performans təmin etməyə imkan verir.

Dəqiq dəstək və optimallaşdırılmış istilik ötürülməsi

Veteksemi'nin Pancake Suseptor əsaslı SIC örtükləri yarımkeçirici gofreti yerləşdirmək və epitaxial çökmə zamanı əla dəstək vermək üçün hazırlanmışdır. SIC Pancake Suseptor, müxtəlif temperatur və təzyiq şəraitində çarx və deformasiyanı minimuma endirmək üçün qabaqcıl hesablama simulyasiya texnologiyasından istifadə etməklə hazırlanmışdır. Onun tipik istilik genişləndirilməsi əmsalı təxminən 4.0 × 10^-666/ ° C, bu, ölçülü sabitliyin yüksək temperaturlu mühitlərdə ənənəvi materiallardan daha yaxşı olduğundan, bununla da gofret qalınlığının ardıcıllığını təmin edən (adətən 200 mm-ə qədər 300 mm).

Bundan əlavə, CVD pancake suseptor, istilik ötürülməsi ilə, istilik keçiriciliyi ilə 120 w / m · k. Bu yüksək istilik keçiriciliyi tez və effektiv şəkildə istilik, sobada temperaturun vahidliyini tez bir zamanda artıra bilər, epitaxial çökmə zamanı vahid istilik paylamasını təmin edə bilər və qeyri-bərabər istilik səbəb olan çökmə qüsurlarını azaldır. Optimallaşdırılmış istilik ötürmə performansı, proses dalğalanmalarını effektiv şəkildə azalda və məhsuldarlığı yaxşılaşdıra biləcək çökmə keyfiyyətinin yaxşılaşdırılması üçün vacibdir.

Bu dizayn və performans optimallaşdırılması vasitəsi ilə Vetek yarımkeçiricisi CVD SIC Pancake Suseptor, sərt emal şəraitində etibarlılıq və ardıcıllıqla təmin etmək və yüksək dəqiqlik və keyfiyyət üçün müasir yarımkeçirici sənayesinin ciddi tələblərinə cavab vermək üçün möhkəm bir təməl təqdim edir.

CVD SIC filminin kristal quruluşu

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri
Əmlak	Tipik dəyər
Kristal quruluşu	FCC β Faza Polyatorstallin, əsasən (111) yönümlü
Sıxlıq	3.21 g / cm³
Sərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500g yük)
Taxıl ölçüsü	2 ~ 10mm
Kimyəvi saflıq	99.99995%
İstilik qabiliyyəti	640 j · kq-1· K-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Çevik güc	415 MPA RT 4 nöqtəli
Gəncin modulusu	430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
İstilikkeçirmə	300w · m-1· K-1
Termal genişləndirilməsi (CTE)	4.5 × 10-666K-1