Şaquli soba SiC örtüklü üzük

Şaquli sobalarda, SiC ilə örtülmüş üzüklərin istifadəsi ümumi bir həlldir, əsasən yüksək temperaturda istilik müalicəsi proseslərində istifadə olunur.Yarımkeçirici gofret. Şaquli soba sic örtüklü üzüklər yüksək performanslı, yüksək performanslı, yüksək səviyyədə temperatur davamlı komponentlərdir və ya prosesin sabitliyini və etibarlılığını təmin etmək üçün waferləri dəstəkləmək və ya qorumaq üçün istifadə olunur.

Şaquli sobanın funksiyaları SiC örtüklü halqa

● Funksiyalar

Dəstəkləyən rol. Yüksək temperaturlu sobalarda sabitliyini və dəqiq mövqeyini təmin etmək üçün gofrets dəstəkləmək üçün istifadə olunur.

●  Korroziyadan qorunma

Aşındırıcı qazların və ya kimyəvi maddələrin əsas materialı paslanmasının qarşısını alın.

●  Çirklənməni azaldın

Yüksək saflıq sic örtük, emal təmizliyini təmin etmək üçün hissəcik tökmə və çirklənmə çirklənməsinin qarşısını ala bilər.

●  Yüksək temperatur müqaviməti

Yüksək temperaturlu mühitlərdə (adətən 1000°C-dən yuxarı) əla mexaniki xassələri və ölçü sabitliyini qoruyun.

Şaquli soba sic örtülmüş üzüyün xüsusiyyətləri

●  Yüksək sərtlik və güc

SiC materialları əla mexaniki gücə malikdir və sobada yüksək temperatur stresinə tab gətirə bilir.

●  Yaxşı istilik sabitliyi

SIC yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişləndirmə əmsalı istilik stressi azaltmağa kömək edir.

●  Güclü kimyəvi sabitlik

SiC örtükləri oksidləşdirici, asidik və ya qələvi mühitlərdə korroziyaya davamlı ola bilər.

●  Aşağı hissəcik çirklənməsi

Hamar səth, yarımkeçirici istehsalın ultra təmiz mühiti üçün xüsusilə uyğun olan hissəcik nəsli ehtimalını azaldır.

Silikon vafliləri dəstəkləmək və istilik müalicəsi zamanı hissəciklərin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün şaquli sobalarda diffuziya, oksidləşmə, tavlama və digər proseslər üçün istifadə olunur.

İstehsal materialları və prosesləri

●  Substrat: Yüksək keyfiyyətli SGL qrafitindən hazırlanıb, keyfiyyətə zəmanət verilir.

● Kaplama: Silikon karbid örtüyü kimyəvi buxar çökməsi (CVD) ilə qrafit səthinə tətbiq olunur.

●  Örtənin qalınlığı adətən 50~500μm arasında olur və bu, istifadə tələblərinə uyğun olaraq tənzimlənir.

●  Kimyəvi buxar çökdürmə SiC örtüyü daha yüksək təmizliyə və sıxlığa və daha yaxşı davamlılığa malikdir.

Uyğun olanı seçinSic örtükOcaqda silikon gofretinin diametrinə və ocaq spesifikasiyalarının diametrinə görə üzük. Bunu sizin üçün düzəldə bilərik. Yüksək saflıq, sıx örtük daha davamlıdır və daha az çirkləndirir.

Çində peşəkar Şaquli Ocaq SiC örtüklü üzük tədarükçüsü və istehsalçısı olaraq, VeTek Semiconductor uzun müddətdir ki, yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl Şaquli Ocaq texnologiyası və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı ürəkdən gözləyirik.

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri

YarımkeçiriciŞaquli soba sic örtülmüş üzük mağazalar: