Silikon karbid duşu başı

Vetek yarımkeçirici silikon karbidli duş başlığı əsasən SIC-dən hazırlanmışdır. Yarımkeçirici emalda, silikon karbid duşunun baş funksiyası zamanı vahid filmin formalaşmasını təmin etmək üçün reaksiya qazını bərabər paylamaqdırKimyəvi buxarlanma (CVD)və yaFiziki buxarlanma (PVD)proseslər. Yüksək istilik keçiriciliyi və kimyəvi sabitlik kimi SIC-nin əla xüsusiyyətləri səbəbindən, SIC duş başlığı yüksək temperaturda səmərəli işləyə bilər, qaz axınının qeyri-bərabərliyini azalda bilərdepozit prosesivə bununla da film qatının keyfiyyətini yaxşılaşdırın.

Silikon Carbide Duş rəhbəri eyni diyaframı olan bir çox nozzles vasitəsilə reaksiya qazını bərabər paylaya bilər, vahid qaz axını təmin edir, çox yüksək və ya çox aşağı olan yerli konsentrasiyalardan qaçın və bununla da filmin keyfiyyətini artırır. Əla yüksək temperaturda müqavimət və kimyəvi sabitlik ilə birləşdirilmişdirCVD SIC, və ya çirkləndiricilər zamanı heç bir hissəcik və ya çirkləndiricilər sərbəst buraxılmırFilm çökmə prosesi, film çöküntüsünün təmizliyini qorumaq üçün vacib olan.

Əsas performans matrixi

Açar göstəricilər Texniki Xüsusiyyətlər Test Standartları

Baza material 6n 6n dərəcəli kimyəvi buxarlanma çökmək silikon karbid yarı f47-0703

Termal keçiriciliyi (25 ℃) 330 w / (m · k) ± 5% ASTM E1461

Əməliyyat temperaturu diapazonu -196 ℃ ~ 1650 ℃ Dövr sabitliyi Mil-STD-883 metodu

Aferture emal dəqiqliyi ± 0.005mm (lazer mikrohole emal texnologiyası) ISO 286-2

Səthi kobudluq ra ≤0.05μm (güzgü dərəcəli müalicə) JIS b 0601: 2013

Üçlü proses innovasiya üstünlüyü

Nanoscale Airflow Nəzarət

1080 deşik matrix dizaynı: 95,7% qaz paylama vahidliyinə (ölçülən məlumatların) əldə etmək üçün asimmetrik balıma quruluşunu qəbul edir

Gradient Aperture Technology: 0.35mm Xarici Üzük → 0.2mm Mərkəzi Proqressiv Layihə, Edge effekti aradan qaldırılması

Sıfır çirklənmə əmanətinin qorunması

Ultra təmiz səthin müalicəsi:

İon şüa ayırması, yeraltı zədələnmiş təbəqəni çıxarır

Atom təbəqəsi Döşəmə (Ald) Al₂o₃ qoruyucu film (isteğe bağlı)

Termal mexaniki sabitlik

Termal deformasiya əmsalı: ≤0.8μm / m · ℃ (ənənəvi materiallardan 73% aşağı)

3000 termal şok testindən keçdi (RT↔1450 ℃ dövrü)

SEM məlumatlarıCVD SIC filminin kristal quruluşu：

CVD-nin əsas fiziki xüsusiyyətləri Sic örtük：

Vetek yarımkeçirici silikon karbidli duş baş mağazaları: