Sic örtük kollektor mərkəzi

Vetek Yarımkeçirici Sic örtük Kolleksiyaçı Mərkəzi, semisonducor EPI prosesinin istehsalında mühüm rol oynayır. Bu, bir epitaksial reaksiya otağında qaz paylanması və idarəetmə üçün istifadə olunan əsas komponentlərdən biridir. Sorğu vermək üçünSic örtükvəTac örtüklüfabrikimizdə.

SIC örtük kollektor mərkəzinin rolu aşağıdakı kimidir:

● Qaz paylanması: SIC örtük kollektor mərkəzi fərqli qazları epitaksial reaksiya otağına tanıtmaq üçün istifadə olunur. Xüsusi epitaksial böyümə ehtiyaclarını ödəmək üçün müxtəlif qazları istədiyiniz yerlərə paylaya biləcək birdən çox giriş və yer var.

● İdarəetmə qazı: SIC örtük kollektor mərkəzi hər qazın klapan və axın idarəsi cihazları vasitəsilə dəqiq nəzarəti əldə edir. Bu dəqiq qaz nəzarəti, filmin keyfiyyətini və ardıcıllığını təmin edərək, istədiyiniz qaz konsentrasiyası və axın sürətinə nail olmaq üçün epitaksial böyümə prosesinin uğuru üçün vacibdir.

● vahidlik: Mərkəzi qaz toplayan üzükün dizaynı və düzeni də qazın vahid paylanmasına kömək edir. Ağlabatan qaz axını yolu və paylama rejimi sayəsində, filmin vahid böyüməsi üçün epitaksial reaksiya otağında bərabər qarışıqdır.

Epitaxial məhsulların istehsalında, SIC örtük kollektor mərkəzi filmin keyfiyyəti, qalınlığında və vahidliyində əsas rol oynayır. Düzgün qaz paylanması və nəzarət yolu ilə SIC örtük kollektor mərkəzi sabitliyini və ardıcıllığını təmin edə bilərepitaxial böyümə prosesi, yüksək keyfiyyətli epitaxial filmlər əldə etmək üçün.

Qrafit Kolleksiya Mərkəzi ilə müqayisədə, SIC örtüklü kolleksiyaçı mərkəzi, istilik keçiriciliyi, inkişaf etmiş kimyəvi inertliliyi və üstün korroziyaya qarşı müqavimət göstərir. Silikon karbid örtüyü, qrafit materialının istilik idarəetmə qabiliyyətini əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yaxşı temperaturun vahidliyinə və epitaxial proseslərdə ardıcıl film böyüməsinə səbəb olur. Bundan əlavə, örtük, kimyəvi korroziyaya rezistelere bir təbəqə təmin edir, qrafit komponentlərinin ömrünü uzanan bir qoruyucu bir təbəqə təqdim edir. Ümumiyyətlə,silikon karbidli örtülmüşdürQrafit materialı, üstün istilik keçiriciliyi, kimyəvi inaktizə və korroziyaya qarşı müqavimət göstərir, epitaxial proseslərdə inkişaf etmiş sabitlik və yüksək keyfiyyətli film artımını təmin edir.

CVD SIC filminin kristal quruluşu:

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri

YarımkeçiriciSic örtük kollektor mərkəziİstehsal mağazası