Yarımkeçirici dərəcəli Kvars Çan Kavanozu

Yarımkeçirici dərəcəli Kvars Çan Kavanozu yüksək təmizlikdə olan kvars materialından hazırlanmışdır. Mükəmməl istilik sabitliyinə və güclü korroziyaya davamlılığa malikdir və bir çox sahələrdə istifadə olunur. Yarımkeçirici sənayesində: Yarımkeçirici Dərəcəli Kvars Çan Kavanozu kimyəvi buxar çökmə (CVD) zamanı vaflilərdə nazik təbəqənin çökməsi üçün idarə olunan mühit təmin edir. Yarımkeçirici dərəcəli Kvars Çan Kavanozu optik örtüklərin, metal örtüklərin və digər növ nazik film materiallarının istehsalı kimi vakuum texnologiyası tələb edən proseslərdə də istifadə olunur. Yarımkeçirici Dərəcəli Kvars Çan Kavanozu yüksək təmizlik, vakuum möhürlənmiş mühit tələb edən bir çox fiziki və material elmləri təcrübələrində də lazımdır.

Yarımkeçirici Sənaye İstifadəsi Ssenariləri:

Polysilicon, inteqrasiya olunmuş sxemlərdə, günəş hüceyrələri və digər sahələrdə geniş istifadə olunan bir çox kiçik taxıldan ibarət bir silikon materialıdır. Kimyəvi buxarlanma çökməsi (CVD) polikristal silikon hazırlamaq üçün əsas metodlardan biridir. Əsas prinsip, SIH4 kimi silikon mənbəyi qazının yüksək temperaturda parçalanması və policrystalline silikon yaratmaq üçün substratda saxlanılmasıdır:

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Yüksək temperatur və vakuum şəraitində, silikon mənbəyi qazı kimyəvi buxar çöküntüsünə bəsləndi. Polycrystalline silikon nəhayət əldə edilir. Yarımkeçirici dərəcəli kvars zəngi, polikristal xətti silikon CVD reaktorunun vacib bir hissəsidir.

Polikristal silikon CVD reaktoru

CVD-nin yüksək temperatur reaksiyası altında, Yarımkeçirici Dərəcəli Kvars Bell Kavanozu vahid istilik mühiti təmin edə bilər. Yüksək Təmizlikli Kvars materialının yüksək temperatura davamlılığı (təxminən 1100°C-ə qədər olan temperaturlara tab gətirə bilər) ona CVD reaksiyalarında stabil işləməyə və reaksiya zonasında temperaturun vahid paylanmasını təmin etməyə imkan verir. CVD prosesində bir çox zəhərli qaz komponentləri var, məsələn, PH3 və s. Yarımkeçirici dərəcəli Kvars Çan Kavanozu zərərli qaz sızmasının qarşısını almaq üçün reaksiya kamerasındakı kimyəvi qazları xarici mühitdən effektiv şəkildə təcrid edə bilər. Yüksək Saflıqda Kvars materialının korroziyaya davamlılığı, həmçinin CVD prosesi zamanı digər materialların uzun müddət stabil işləməsinə imkan verir və asanlıqla korroziyaya uğramır və zədələnmir.

Kvars Bell JAR, Kvars İstilik Qoruma borusu və şaquli kvars gəmisi ilə birlikdə istifadə olunur və əsasən yarımkeçirici inteqrasiya edilmiş dövrə çip istehsalının epitaksial prosesində istifadə olunur. Epitaxial soba ümumiyyətlə şaquli bir quruluşu, şaquli kvars gəmisinin kənarındakı kvars zəng bankası və kvars istilik qoruğu borusunu dəstək olaraq qəbul edir.

Yarımkeçirici Dərəcəli Kvars Çan Kavanozunun yüksək temperatur mühitində başqa bir tipik tətbiqi: Ortodontik hissələrin partiyasını lehimləmə üçün inert atmosferdə 1 saniyə ərzində 704 ℃-ə qədər qızdırmaq:

Vetek yarımkeçiricisi yetkin bir texniki heyət var. Yüksək saflıq kvars zəng mağonunun hansı forma və ya materialdan asılı olmayaraq, bunu sizin üçün uyğunlaşdıra bilərik.

VeTek Semiconductor məhsulları mağazaları: