Xəbərlər

Epitaksial sobanın iş prinsipi yarımkeçirici materialların yüksək temperatur və yüksək təzyiq altında bir substratda çökdürülməsidir. Silikon epitaksial böyümə, müəyyən bir kristal oriyentasiyası olan bir silikon monokristal substratda substrat ilə eyni kristal oriyentasiyası və fərqli qalınlığı olan bir kristal təbəqəsinin böyüməsidir. Bu məqalə, əsasən, silikon epitaksial böyümə üsullarını təqdim edir: buxar fazalı epitaksiya və maye faza epitaksisi.

Kimyəvi buxarlanma (CVD) yarımkeçiricisində (CVD), Palatada incə film materiallarını, o cümlədən Sio2, Sin və s. Və istifadə olunan tiplər PECVD və LPCVD daxil olmaqla istifadə olunur. Temperaturu, təzyiq və reaksiya qaz növünü tənzimləməklə, CVD müxtəlif proses tələblərinə cavab vermək üçün yüksək saflıq, vahidlik və yaxşı film əhatə edir.

Bu məqalə əsasən silikon karbid keramikasının geniş tətbiq perspektivlərini təsvir edir. Silikon karbid keramikasında və müvafiq həllərindəki çəkilmələrin səbəblərinin təhlilinə də diqqət yetirir.