Məqalədə karbon hissinin əla fiziki xüsusiyyətlərini, SIC örtüyünü seçilməsi və karbonda sic örtüyünün metodu və prinsipi və prinsipi təsvir edilmişdir. SIC örtüklü karbon hissinin fazalı tərkibini təhlil etmək üçün D8 Advance X-Ray Diffraktometri (XRD) istifadəsini xüsusi olaraq təhlil edir.
SIC vahid kristallarının yetişdirilməsi üçün əsas metodlar bunlardır: fiziki buxar nəqliyyatı (PVT), yüksək temperatur kimyəvi buxarlanma (HTCVD) və yüksək temperaturlu həll böyüməsi (HTSG).
Günəş fotooltaik sənayesinin inkişafı ilə, diffuziya sobaları və LPCVD sobaları günəş hüceyrələrinin səmərəli fəaliyyətinə birbaşa təsir edən günəş hüceyrələrinin istehsalı üçün əsas avadanlıqdır. Hərtərəfli məhsulun icrası və istifadə dəyəri, silikon karbid keramika materialları kvars materiallarından daha çox günəş hüceyrələri sahəsində daha çox üstünlüklərə malikdir. Fotovoltaik sənayesindəki silikon karbid keramik materiallarının tətbiqi, fotovoltaik müəssisələrə köməkçi maddi investisiya xərclərini azaltmağa, məhsulun keyfiyyətini və rəqabət qabiliyyətini artırmağa çox kömək edə bilər. Fotovoltaik sahəsindəki silikon karbidli keramika materiallarının gələcək tendensiyası əsasən daha yüksək saf, daha güclü yük daşıyan tutum, daha yüksək yükləmə qabiliyyəti və daha az xərcdir.
Məqalə, yarımkeçirici emal zamanı SIC Tac örtükləri və saflıq nəzarəti, proses parametrinin optimallaşdırılması, örtüklü yapışma, avadanlıqların istismarı və proses sabitliyi, ətraf mühitin qorunması və xərcləri sabitliyi müvafiq sənaye həlləri kimi.
SiC monokristal artımının tətbiqi nöqteyi-nəzərindən bu məqalə TaC örtüyünün və SIC örtüyünün əsas fiziki parametrlərini müqayisə edir və yüksək temperatur müqaviməti, güclü kimyəvi sabitlik, azaldılmış çirklər və SiC örtüyü ilə müqayisədə TaC örtüyünün əsas üstünlüklərini izah edir. aşağı xərclər.
Fab fabrikində bir çox ölçü avadanlığı var. Ümumi avadanlıqların Litoqrafiya Prosesinin Ölçmə avadanlığı, Etching Prosesin Ölçmə avadanlığı, İncə Film Döşəmə Prosesinin Ölçmə avadanlığı, Dopinq Prosesinin Ölçmə avadanlığı, CMP Prosesin Ölçmə avadanlığı, Wafer Particse Detection Avadanlıqları və digər ölçmə avadanlığı.
Tantalum Karbide (TAC) örtük, yüksək temperatur müqavimətini, korroziyaya müqavimət, mexaniki xüsusiyyətləri və istilik idarəetmə imkanlarını artıraraq qrafit hissələrinin həyatını əhəmiyyətli dərəcədə genişləndirə bilər. Yüksək saflıq xüsusiyyətləri murdar çirklənməsini azaldır, büllur böyümə keyfiyyətini yaxşılaşdırır və enerji səmərəliliyini artırır. Yarımkeçirici istehsal və yüksək temperatur, yüksək aşındırıcı mühitlərdə yarımkeçirici istehsal və büllur artım tətbiqləri üçün uygundur.
Tantalum Karbide (TAC) örtükləri, əsasən epitaksial böyümə reaktoru komponentləri, yüksək temperaturlu sənaye komponentləri, mocvd sistemi qızdırıcıları və korroziya müqaviməti, məhsuldarlığı və büllur keyfiyyətini artıra, enerji istehlakını azalda və sabitliyi yaxşılaşdıra bilər.
SIC epitaxial böyümə prosesi zamanı SIC örtülmüş qrafit asma uğursuzluğu baş verə bilər. Bu sənəd əsasən iki amili ehtiva edən SIC örtülmüş qrafit asmainin uğursuz fenomeninin ciddi təhlili aparır: SIC epitaxial qaz çatışmazlığı və sic örtük çatışmazlığı.
Bu məqalə əsasən molekulyar şüa epitaxy prosesinin və metal üzvi kimyəvi buxar çökmə texnologiyalarının müvafiq proses üstünlüklərini və fərqlərini müzakirə edir.
VeTek Semiconductor-un məsaməli tantal karbid yeni nəsil SiC kristal inkişaf materialı kimi bir çox əla məhsul xüsusiyyətlərinə malikdir və müxtəlif yarımkeçiricilərin emal texnologiyalarında əsas rol oynayır.
Epitaksial sobanın iş prinsipi yarımkeçirici materialların yüksək temperatur və yüksək təzyiq altında bir substratda çökdürülməsidir. Silikon epitaksial böyümə, müəyyən bir kristal oriyentasiyası olan bir silikon monokristal substratda substrat ilə eyni kristal oriyentasiyası və fərqli qalınlığı olan bir kristal təbəqəsinin böyüməsidir. Bu məqalə, əsasən, silikon epitaksial böyümə üsullarını təqdim edir: buxar fazalı epitaksiya və maye faza epitaksisi.
Kimyəvi buxarlanma (CVD) yarımkeçiricisində (CVD), Palatada incə film materiallarını, o cümlədən Sio2, Sin və s. Və istifadə olunan tiplər PECVD və LPCVD daxil olmaqla istifadə olunur. Temperaturu, təzyiq və reaksiya qaz növünü tənzimləməklə, CVD müxtəlif proses tələblərinə cavab vermək üçün yüksək saflıq, vahidlik və yaxşı film əhatə edir.
Bu məqalə əsasən silikon karbid keramikasının geniş tətbiq perspektivlərini təsvir edir. Silikon karbid keramikasında və müvafiq həllərindəki çəkilmələrin səbəblərinin təhlilinə də diqqət yetirir.
Biz sizə daha yaxşı baxış təcrübəsi təklif etmək, sayt trafikini təhlil etmək və məzmunu fərdiləşdirmək üçün kukilərdən istifadə edirik. Bu saytdan istifadə etməklə siz kukilərdən istifadəmizlə razılaşırsınız. Məxfilik Siyasəti