Sənaye xəbərləri

Ev və mətbəx cihazlarının daim inkişaf edən dünyasında, bir məhsul bu yaxınlarda yenilik və praktik tətbiqi üçün əhəmiyyətli bir diqqət qazandı - kvars termos kovası

Kvars məhsulları yüksək saf, yüksək temperaturlu müqavimət və güclü kimyəvi sabitlik səbəbindən yarımkeçirici istehsal prosesində geniş istifadə olunur.

Silikon Karbide (SIC) Kristal Böyümə sobaları, Next-Nəsil Yarımkeçirici Cihazlar üçün yüksək performanslı SIC Wafters istehsalında mühüm rol oynayır. Bununla birlikdə, yüksək keyfiyyətli SIC kristallarının artması prosesi əhəmiyyətli çətinliklər təqdim edir. Həddindən artıq istilik gradientlərinin kristal qüsurlarını azaltmaq, vahid böyüməni təmin etmək və istehsal xərclərini idarə etmək üçün hər bir addım qabaqcıl mühəndislik həlləri tələb edir. Bu məqalə, SIC kristal böyümə sobalarının bir çox perspektivdən texniki problemlərini təhlil edəcəkdir.

Smart Cut, ultra incə və yüksək vahid və yüksək vahid 3C-SIC (kub silikon karbid) istehsal etmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmış ion implantasiyası və vafli soyma əsasında inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsal prosesidir. Ultra nazik kristal materiallarını bir substratdan digərinə köçürə və bununla da orijinal fiziki məhdudiyyətləri pozaraq bütün substrat sənayesini dəyişdirmək olar.

Yüksək keyfiyyətli və yüksək məhsuldar silikon karbid substratlarının hazırlanmasında, nüvə yaxşı istilik sahəsi materialları ilə istehsal temperaturuna dəqiq nəzarət tələb edir. Hal-hazırda, əsasən istifadə olunan termal sahə çarxları, əsasən istifadə olunan yüksək saflıq qrafit struktur komponentləridir, həm də istiliyi qorumaq üçün ərimiş karbon tozu və silikon tozu olanlardır.

Üçüncü nəsil yarımkeçiriciləri görəndə, şübhəsiz ki, birinci və ikinci nəsillərin nə olduğunu düşünəcəksiniz. Burada "nəsil" yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan materiallar əsasında təsnif edilir.

Elektrostatik Chuck (ESC, E-Chuck) kimi də tanınan elektrostatik Chuck (ESC), adsorbed materialı tutmaq və düzəltmək üçün elektrostatik adsorbsiyasının prinsipindən istifadə edən bir armaturdur. Vakuum və plazma mühitləri üçün uygundur.

SIC Wafter Carriers, üçüncü nəsil yarımkeçirici sənaye zəncirində əsas istehlak materialları olaraq, onların texniki xüsusiyyətləri epitaksial böyümə və cihaz istehsalının məhsuldarlığına birbaşa təsir edir. 5G baza stansiyaları və yeni enerji nəqliyyatı kimi sahələrdə yüksək gərginlikli və yüksək temperaturlu qurğular üçün yükləmə tələbi ilə, SIC vafli daşıyıcılarının tədqiqat və tətbiqi artıq əhəmiyyətli inkişaf imkanları ilə üzləşir.

Alumuina keramika, keramika komponentləri istehsal üçün "işçi" dir. Mükəmməl mexaniki xüsusiyyətlər, ultra yüksək ərimə nöqtələri və sərtlik, korroziya müqaviməti, güclü kimyəvi sabitlik, yüksək müqavimət və üstün elektrik izolyasiyası nümayiş etdirirlər. Onlar ümumiyyətlə cilalanma plitələri, vakuum çakları, keramika qolları və oxşar hissələr hazırlamaq üçün istifadə olunur.

Yarımkeçirici materiallar üç nəsildə xronoloji qaydada təsnif edilə bilər. Birinci nəsil, rahat keçidlə xarakterizə olunan və ümumiyyətlə inteqrasiya olunmuş sxemlərdə istifadə olunan germanium və silikon kimi ümumi elementar materiallardan ibarətdir. Gallium Arsenide və Indium Fosfid kimi ikinci nəsil birləşmə yarımkeçiriciləri əsasən luminescent və rabitə materiallarında istifadə olunur.

Kvars qurğuları günəş hüceyrələrinin istehsalında, müstəsna istilik müqaviməti, kimyəvi saflıq və yüksək temperaturlu proseslərdə tələb olunan struktur sabitliyini təklif edən tənqidi rol oynayır. Kvars diffuziya boruları və kvars qayıqlarına və soba komponentlərinə qədər olan çarmıxlardan, bu yüksək təmizlik materialları, yayılması, CVD və yaş həddən artıq pillələrdən optimal səmərəliliyə çatmaq üçün vacibdir.

TAC örtüyü, qrafit çarxı və SIC əriməsi arasında birbaşa əlaqəni təcrid etməklə karbon encapsulation fenomenini tamamilə aradan qaldırır

SIC Ceramic, son dərəcə yüksək sərtlik, istilik müqaviməti və kimyəvi sabitliyi olan silikon (SI) və karbon (c) elementlərinin reaksiyasının verdiyi bir keramika materialdır

Yarımkeçirici istehsal dünyasında, dəqiqlik və sabitlik dünyasında hər şey var və elektrostatik çuck (ESC) addımlarıdır. Yalnız bir tutma vasitəsidən daha çox, ESC, tithing, çökmə və ion implantasiyası kimi kritik proseslər zamanı etibarlı şəkildə qüsursuz qüvvələrdən istifadə edir. Bəs əslində necə işləyir? Niyə ənənəvi mexaniki sıxışmadan üstündür? Nanoscale dəqiqliyinə və ötürmə səmərəliliyinə nail olmaqda hansı rol oynayır? Oxumağa xoş gəlmisiniz.

Elektrostatik Chuck-in Dechuck prinsipi elektrostatik güc aradan qaldırılması və vafli buraxma mexanizmlərini əhatə edən iş axınının əsas hissəsidir.

Glassy Carbon, şüşə və keramika xüsusiyyətlərini birləşdirən qrafik olmayan bir karbondur. Yüksək temperaturda müqavimət, korroziya müqaviməti, yaxşı elektrik keçiriciliyi və s. Kimi bir çox xüsusiyyətə malikdir. Bu blog oxumağa dəyər olan şüşəli karbonun tədqiqat tarixini və gələcək inkişaf tendensiyasını təhlil edir.