SiC Epitaksiya Prosesi

VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.


Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .


Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar

VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.


İstilik izolyatorları

SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.


Məqsəd:

 ● LED(İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı

● ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici

● EPI Reseptoru (SiC Epitaksi Prosesi)


SiC Kaplama və TaC Kaplamanın müqayisəsi:

SiC TaC
Əsas Xüsusiyyətlər Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq)
Saflıq >99,9999% >99,9999%
Sıxlıq (q/sm3) 3.21 15
Sərtlik (kq/mm2) 2900-3300 6.7-7.2
Müqavimət [Ωcm] 0,1-15,000 <1
İstilik keçiriciliyi (W/m-K) 200-360 22
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃) 4.5-5 6.3
Ərizə Yarımkeçirici Avadanlıq Seramik cig (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret) SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri


View as  
 
SiC Epitaksial Reaktor üçün TaC örtüklü üzük

SiC Epitaksial Reaktor üçün TaC örtüklü üzük

VeTek Semiconductor, SiC epitaksial reaktorları üçün yüksək performanslı həllərin təmin edilməsinə diqqət yetirərək, Çində SiC Epitaksial Reaktor üçün TaC Örtülü Halqanın aparıcı istehsalçısı və texnologiya yenilikçisidir. TaC örtük texnologiyasında uzun illər təcrübəmiz var. TaC örtüklü üzük yüksək saflıq, yüksək sabitlik, əla korroziyaya davamlılıq və s. xüsusiyyətlərinə malikdir və epitaksial reaktorların sərt iş mühitində uzunmüddətli sabit performans təmin edə bilər. Sizinlə uzunmüddətli strateji tərəfdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.
LPE üçün tantal karbidlə örtülmüş yarım ay hissəsi

LPE üçün tantal karbidlə örtülmüş yarım ay hissəsi

VeTek Semiconductor, uzun illər TaC örtük texnologiyasına diqqət yetirərək, Çində LPE üçün Tantal Karbid Kaplamalı Yarım Ay hissəsinin aparıcı təchizatçısıdır. LPE üçün Tantal Karbid Kaplamalı Yarım Ay Hissəmiz maye fazalı epitaksiya prosesi üçün nəzərdə tutulmuşdur və 2000 dərəcədən çox yüksək temperatura davam edə bilər. Mükəmməl material performansı və proses innovasiyası ilə məhsulumuz sənayedə aparıcı səviyyədədir. VeTek Semiconductor Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyir.
Tantalum karbidli örtülmüş planetar rotasiya diski

Tantalum karbidli örtülmüş planetar rotasiya diski

VeTek Semiconductor, uzun illər TaC örtük texnologiyasına diqqət yetirərək Çində Tantal Karbid Kaplamalı Planet Fırlanma Diskinin aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Məhsullarımız yarımkeçirici istehsalçıları tərəfindən geniş şəkildə tanınan yüksək təmizliyə və əla yüksək temperatur müqavimətinə malikdir. VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Kaplamalı Planet Fırlanma Diski vafli epitaksiya sənayesinin əsasına çevrilmişdir. Texnoloji tərəqqi və istehsalın optimallaşdırılmasını birgə təşviq etmək üçün sizinlə uzunmüddətli tərəfdaşlıq qurmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Çində peşəkar SiC Epitaksiya Prosesi istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı SiC Epitaksiya Prosesi almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept