Sic örtük monokristalline silikon epitaxial tepsisi

VeTek yarımkeçiricinin SiC örtüklü monokristal silikon epitaksial qabı xüsusi olaraq monokristal silisium epitaksial böyüməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur və monokristal silikon epitaksiya və əlaqəli yarımkeçirici cihazların sənaye tətbiqində mühüm rol oynayır.SiC örtüyüTepsinin temperatur müqavimətini və korroziyaya davamlılığını nəinki yaxşılaşdırmır, eyni zamanda həddindən artıq mühitlərdə uzunmüddətli sabitlik və əla performans təmin edir.

SIC örtüklərinin üstünlükləri

●  Yüksək istilik keçiriciliyi: Sic örtük, tepsinin istilik idarəetmə qabiliyyətini çox yaxşılaşdırır və yüksək güc cihazları tərəfindən yaradılan istiliyi effektiv şəkildə dağıtdıra bilər.

●  Korroziyaya davamlılıq: SIC örtükləri uzunmüddətli xidmət həyatını və etibarlılığını təmin edən yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərdə yaxşı çıxış edir.

● səthi vahidliyi: Səth qeyri-bərabərlik və epitaksial böyümənin sabitliyini təmin edən istehsal səhvlərindən istifadə edərək düz və hamar bir səth təmin edir.

Tədqiqatlara görə, qrafit substratın məsamə ölçüsü 100 ilə 500 nm arasında olduqda, qrafit substratda SiC gradient örtüyü hazırlana bilər və SiC örtüyü daha güclü antioksidləşmə qabiliyyətinə malikdir. bu qrafit üzərində SiC örtüyünün oksidləşmə müqaviməti (üçbucaqlı əyri) qrafitin digər spesifikasiyalarından qat-qat güclüdür. Tək kristal silisium epitaksiyasının böyüməsi üçün uyğundur. VeTek Semiconductor-un SiC örtüklü monokristal silisium epitaksial qabı SGL qrafitindən istifadə edir.qrafit substrat, bu cür performansa nail ola biləcək.

VeTek Semiconductor-un SiC örtüklü monokristal silisium epitaksial qabı ən yaxşı qrafit materiallarından və ən qabaqcıl SiC örtüyünün emal texnologiyasından istifadə edir. Ən əsası, müştərilərin hansı məhsul fərdiləşdirmə ehtiyaclarından asılı olmayaraq, biz onları qarşılamaq üçün əlimizdən gələni edə bilərik.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri

Vetek yarımkeçirici istehsal sexləri