Sic örtük kollektoru

Vetek yarımkeçiricisi istehsalçı yüksək keyfiyyətli təmin etmək üçün öhdəlik götürürCVD TAC örtüklərivə CVD SIC örtük kollektoru dibi və müştərilərimizin ehtiyaclarını ödəmək üçün Aixtron avadanlığı ilə yaxından işləyin. Prosesin optimallaşdırılması və ya yeni məhsul inkişafı olub-olmaması, sizə texniki dəstək verməyə və hər hansı bir sualınıza cavab verməyə hazırıq.

Məhsulun əsas funksiyası

Emal sabitliyi zəmanəti

Temperatur gradient nəzarəti: ±1.5℃/cm@1200℃

Axın sahəsinin optimallaşdırılması: Xüsusi kanal dizaynı reaksiya qaz paylama vahidliyini 92,6% -ə qədər artırır

Avadanlıqların qorunması mexanizmi

İkiqat qorunma:

Termal şok tamponu: 10 ℃ / s sürətlə temperatur dəyişikliyi ilə

Parça müddəti: Tutma> 0.3μm çöküntü hissəcikləri

Ən qabaqcıl texnologiya sahəsində

Bütün proses keyfiyyətinə nəzarət

İstehsalat izləmə sistemi

Xammal mənbəyi: Yaponiyadan Tokai / Toyo qrafiti, Almaniyadan SGL qrafiti

Rəqəmsal Əkiz Monitorinqi: Hər bir komponent müstəqil bir proses parametrləri verilənlər bazasına uyğundur

Tətbiq ssenarisi:

Üçüncü nəsil yarımkeçirici istehsal

Ssenari: 6 düymlük SIC Epitaxial böyüməsi (100-150μm qalınlığında)

Uyğun Model: Aixtron G5 WW / CRIUS II

Aixtron SIC örtüklü kollektor üst, Kolleksiya Mərkəzi və SIC örtüklü kolleksiyaçı, istilik idarəetmə və kimyəvi istehsal prosesində kimyəvi müdafiəyə nail olmaq olar, film böyümə mühiti optimallaşdırıla bilər və filmin keyfiyyəti və ardıcıllığı yaxşılaşdırıla bilər. Bu komponentlərin Aixtron avadanlıqlarında birləşməsi sabit proses şərtlərini və səmərəli yarımkeçirici istehsalını təmin edir.

CVD SIC filminin SEM məlumatları