Sic örtülmüş gofret sahibi

VETEK Yarımkeçiricinin SIC örtülmüş gofret sahibi, ümumiyyətlə yarımkeçirici emal zamanı waferləri düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur. Yüksək performanslıdırvafliYarımkeçirici istehsalda geniş istifadə olunur. Səthində silikon karbid (sic) bir qatın örtülməsi iləsubstrat, məhsul substratın korroziyadan səmərəli şəkildə qarşısını alır və emal prosesinin sabitliyini və dəqiqlik tələblərini təmin edərək, vafli daşıyıcısının korroziyaya davamlılığını və mexaniki gücünü yaxşılaşdıra bilər.

Sic örtülmüş gofret sahibiYarımkeçirici işləmə zamanı boşqabları düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsalda geniş istifadə olunan yüksək performanslı bir operatordur. Bir təbəqəni örtərəksilikon karbid (sic)Substratın səthində məhsul substratın korroziyadan səmərəli qarşısını ala və korroziyaya qarşı müqavimət və mexaniki gücünü yaxşılaşdıra biləremal prosesinin sabitliyini və dəqiqliklərini təmin edən vafli daşıyıcısı.

Silikon Karbide (SIC) təxminən 2730 ° C ərimə nöqtəsinə malikdir və təxminən 120 - 180 w / m · k əla istilik keçiriciliyi var. Bu əmlak tez temperaturlu proseslərdə istiliyini tez bir zamanda yaymaq və gofret və operator arasında həddindən artıq istiləşmənin qarşısını ala bilər. Buna görə, Sic örtüklü vafli sahibi ümumiyyətlə substrat kimi silikon karbid (SIC) örtülmüş qrafitdən istifadə edir.

SIC-nin son dərəcə yüksək sərtliyi (təxminən 2500 HV olan Vickers sərtliyi), CVD Prosesi tərəfindən yatırılan silikon karbid (SIC) örtüyü sıx və güclü qoruyucu örtük meydana gətirə bilər, bu da SIC örtülmüş gofret sahibinin aşınma müqavimətini çox yaxşılaşdırır.

Vetek yarımkeçiricinin SIC örtülmüş gofret sahibi SIC örtüklü qrafitdən hazırlanmışdır və müasir yarımkeçirici epitaxy proseslərində əvəzolunmaz əsas komponentdir. Ağıllı şəkildə qrafitin əla istilik keçiriciliyini birləşdirir (istilik keçiriciliyi, otaq temperaturunda təxminən 100-400 w / m / m · k, silikon karbidinin və silikon karbidinin əla kimyəvi korroziya müqaviməti və istilik nöqtəsidir), bugünkü yüksək səviyyəli yarımkeçirici istehsal mühitinin ciddi tələblərini mükəmməl qarşılayır.

Bu tək vafli dizayn sahibi dəqiq nəzarət edə bilərepitaxial prosesYüksək keyfiyyətli, yüksək performanslı yarımkeçirici cihaz istehsal etməyə kömək edən parametrlər. Unikal struktur dizaynı, vafferin bütün proses boyunca ən çox qayğı və dəqiqliklə işlənməsini təmin edir, bununla da epitaksial qatın əla keyfiyyətini təmin edir və son yarımkeçirici məhsulun fəaliyyətini yaxşılaşdırır.

Çinin aparıcı kimiSic örtülmüşWafter sahibi istehsalçısı və lideri, Vetek yarımkeçiricisi avadanlıq və emal tələblərinə uyğun olaraq xüsusi məhsul və texniki xidmət göstərə bilər.Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağınıza ürəkdən ümid edirik.

CVD SIC Film Kristal quruluşunun SEM məlumatları

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri

Vetek Yarımkeçirici SIC örtülmüş gofret sahibi məhsulları məhsulları: