Sürətli termal yumrulama susub

VeTek Yarımkeçirici Sürətli Termal Yumşaldıcı Süpürgə yüksək keyfiyyətli və uzun ömürlüdür, bizi sorğulamağa xoş gəlmisiniz.

Sürətli Termal Təmizləmə (RTA) yarımkeçirici cihazların istehsalında istifadə olunan Sürətli Termal Emalın mühüm alt dəstidir. Bu, müxtəlif hədəflənmiş istilik müalicələri vasitəsilə elektrik xüsusiyyətlərini dəyişdirmək üçün fərdi vaflilərin qızdırılmasını nəzərdə tutur. RTA prosesi qatqı maddələrinin aktivləşdirilməsinə, film-film və ya plyonka-vafli substrat interfeyslərinin dəyişdirilməsinə, yığılmış filmlərin sıxlaşdırılmasına, böyüdülmüş film vəziyyətlərinin dəyişdirilməsinə, ion implantasiyasının zədələnməsinin təmirinə, qatqı materialının hərəkətinə və filmlər arasında əlavə maddələrin hərəkətinə imkan verir. və ya vafli substrata.

Vetek yarımkeçiricisi məhsulu, sürətli termal ilkinlik suseptoru, RTP prosesində həyati bir rol oynayır. İnter silikon karbidinin (SIC) qoruyucu örtüklü yüksək təmizlik qrafit materialından istifadə etməklə inşa edilmişdir. SIC örtüklü silikon substratı, hətta ekstremal şəraitdə də etibarlı performans təmin edən 1100 ° C qədər temperaturdan məhrum ola bilər. SIC örtüyü, məhsulun uzunömürlülüyünü təmin edərək qaz sızması və hissəcik tökmədən əla qorunma təmin edir.

Dəqiq temperatur nəzarətini qorumaq üçün, sic ilə örtülmüş iki yüksək saflıq qrafit komponentləri arasında çip kapilialıdır. Dəqiq temperatur ölçmələri substrat ilə təmasda inteqrasiya edilmiş yüksək temperatur sensorlar və ya termokuplalar vasitəsilə əldə edilə bilər.

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri:

Yarımkeçirici istehsal sexini müqayisə edin:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: