Xəbərlər

CVD TAC örtüyü bir substratda (qrafitdə) sıx və davamlı bir örtük yaratmaq üçün bir prosesdir. Bu üsul TAC-ni substrat səthinə qədər yüksək temperaturda yatırmağı ehtiva edir, nəticədə əla istilik sabitliyi və kimyəvi müqavimət göstərən bir tantal karbid (TAC) örtüyü ilə nəticələnir.

8 düymlük silisium karbid (SiC) prosesi yetişdikcə, istehsalçılar 6 düymdən 8 düymədək keçidi sürətləndirirlər. Bu yaxınlarda ON Semiconductor və Resonac 8 düymlük SiC istehsalı ilə bağlı yeniləmələri elan etdi.

Bu məqalə, İtalyan şirkəti LPE-nin yeni hazırlanmış PE1O8 isti divar CVD reaktorundakı son inkişafları və 200MM SIC-də vahid 4h-sic epitaxy-ni yerinə yetirmək imkanı təqdim edir.