Xəbərlər

Silikon Karbid Nanomaterialları (SIC) nanometr miqyasında ən azı bir ölçü (1-100nm) olan materiallardır. Bu materiallar sıfır, bir, iki, və ya üçölçülü və müxtəlif tətbiqlər ola bilər.

CVD SIC, kimyəvi buxar çöküntüsü ilə istehsal olunan yüksək saflıq silikon karbidli bir materialdır. Əsasən müxtəlif komponentlər və yarımkeçirici emal avadanlıqlarında örtüklər üçün istifadə olunur. Aşağıdakı məzmun, CVD SIC-nin məhsul təsnifatı və əsas funksiyalarına girişdir

Bu məqalə əsasən TAC örtüyünün məhsul növlərini, məhsul xüsusiyyətlərini və əsas funksiyalarını təqdim edir və bütövlükdə Tac örtüklü məhsulların hərtərəfli təhlili və təfsiri edir.

Bu məqalə əsasən məhsul növlərini, məhsul xüsusiyyətlərini, məhsul xüsusiyyətlərini və yarımkeçirici emalda mocvd suseptorun əsas funksiyalarını təqdim edir və bütövlükdə Mocvd Suseptor məhsullarının hərtərəfli təhlili və təfsiri edir.

ASM üçün SiC ilə örtülmüş qrafit sensoru yalnız epitaksiya sistemindəki əvəzedici hissə deyil. Bu, istilik vahidliyinə, vaflis təmizliyinə, örtüyün davamlılığına, kameranın dayanıqlığına və uzunmüddətli istehsal dəyərinə təsir edən proses baxımından kritik daşıyıcıdır.

CVD TaC örtük örtüyü yalnız qoruyucu qapaq və ya örtülmüş qrafit komponenti deyil. Yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslərdə o, kameranın təmizliyinə, istilik sabitliyinə, hissənin xidmət müddətinə və prosesin tutarlılığına təsir göstərə bilər.