Şüşəli karbon çarxı

1. Material xüsusiyyətləri: Qeyri-qrafik olmayan şüşə karbon, performans ənənəvi materialları hər cəhətdən üstələyir

Veteksemiconun şüşəli karbon çarxı inkişaf etmiş yüksək temperaturlu sintering texnologiyası qəbul edir və polimer prekursoru inert qaz mühitində 3000 ° C-də işlənir. Həm şüşənin həm sıxlığı, həm də keramika yüksək temperaturlu müqavimət göstərir.Əsas üstünlüklərə daxildir:

✔ Ultra yüksək təmizlik: Çirklənmə məzmunu 2ppm-dən (məsələn, alüminium və dəmir kimi metal çirkləri kimi), yarımkeçirici-dərəcəli materialların ehtiyaclarına cavab verir.

✔ Həddindən artıq temperatur müqaviməti: Vakuum və ya inert qazında 3000 ° C-ə qədər sabit istifadə edilə bilər və güc temperaturun artması ilə artır (2400 ° C-də güc normal temperaturda).

✔ Sıfır məsaməsi və anti-keçiricilik: Açıq məsamələr yoxdur və qaz keçiriciliyi əmsalı, molten metalın oksidləşməsinin və ya çirklənməsindən qaça biləcək 10 ⁻⁹ sm² / s qədərdir.

✔ Əla elektrik və istilik keçiriciliyi: İstilik keçiriciliyi 6.3 / (m · k), müqavimət 45μω · m, yüksək tezlikli induksiya istilik prosesi üçün uyğundur.

✔ Kimyəvi korroziya müqaviməti: Güclü turşuya, güclü qələvi və əridilmiş duz korroziyaya, heç bir hissəcik tökmə, yarımkeçirici istehsalın təmizliyini təmin etmək üçün davamlıdır.

2. Yarımkeçirici emalda əsas tətbiq ssenariləri

Veteksemiconun şüşəli karbon çaraban məhsullar, ümumiyyətlə, ümumiyyətlə, seminkondu istehsalatında əsas bağlantıları əhatə edir, ümumiyyətlə daxil olmaqla:

1) tək kristal silikon böyüməsi:

SIC kristal böyümə sobası üçün istifadə olunan izolyasiya örtüyü, istilik sahəsinin sabitliyini yaxşılaşdırmaq və enerji istehlakının azaldılması 20% azaldı.

Yüksək saflıq xüsusiyyətləri silikonun çirklənməsindən qaçın və lattice qüsurlarını azaldın.

2) İon implantasiyası və etching prosesi:

Plazma etching sistemi üçün bir elektrod və qaz diffuzoru kimi, vahid axıdılması və proses ardıcıllığını təmin edir.

Anti-ion bombardman xüsusiyyətləri avadanlıqları uzatır.

3) metalizasiya və ərinti əriməsi:

Molten qızıl, palladium və titan ərintiləri üçün ideal konteyner, ıslatma olmayan səth maddi itkini azaldır.

Yüksək aktiv nadir metalların təmizlənməsi və qəliblənməsi üçün uyğundur (məsələn, gallium və indium).

Xəbərdarlıq: Şüşə karbon çarxları xrom-kobalt-molibden ərintilərini əritmək üçün istifadə edilə bilməz. Eynilə, onlar silikon və ya volfram kimi asanlıqla karbid ərimək üçün istifadə edilə bilməz.

4) Qabaqcıl qablaşdırma və sınaq:

Bir gofret ötürücü daşıyıcısı (dummy gofret) və istilik reflektoru kimi, yüksək temperaturlu proseslərin sabitliyini təmin edir.

3. Müəssisə istehsalı gücü: geniş miqyaslı istehsal və texnoloji yenilik

Çinin şüşəli karbon xammalının aparıcı təchizatçısı olaraq Veteksemikon aşağıdakı əsas üstünlüklərə malikdir:

✔ Tam işləmə müstəqil istehsal

Xammalçı polimerləşməsindən yüksək temperaturlu sinteringə qədər, bütün proses toplu ardıcıllığını təmin etmək üçün idarə olunur.

Kütləvi istehsal gücü 5 mm səviyyəli ultra incə örtükləri böyük çarxlara (diametri 132mm, hündürlüyü 273mm spesifikasiyalara) əhatə edir.

✔ Xüsusi işləmə qabiliyyəti

Qeyri-standart ölçülü özelleştirme (xüsusi formalı çarmılar, borular, filmlər, filmlər), ± 0,2 mm dəqiqliyi olan bir tolerantlıq dəqiqliyi ilə dəstəkləyir.

✔ Texnologiya Ar-Ge Ehtiyatları

Nano şüşəli karbon (3GPA-ya qədər güc) inkişaf etdirmək və miniatürləşdirilmiş yarımkeçirici avadanlıqların tətbiqini genişləndirmək üçün Çin Elmlər Akademiyasının elmi tədqiqat müəssisələri ilə əməkdaşlıq etmək və miniatürləşdirilmiş yarımkeçirici avadanlıqların tətbiqini genişləndirmək.

Materialların çarpaz bir yeniliyini təşviq etmək üçün yanacaq hüceyrəsi bipolar plitələri və aerokosmik quyruğu nozzle kimi ortaya çıxan sahələri hazırlayın.