Epi vafli sahibi

Vetek yarımkeçiricisi xüsusi məhsul xidmətlərini dəstəkləyir, buna görə EPI vafli sahibi, ölçüsünə görə sizə xüsusi məhsul xidmətləri göstərə bilərkövrək(100 mm, 150mm, 200 mm, 300 mm və s.). Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağınıza ürəkdən ümid edirik.

EPI vafli sahiblərinin funksiyası və iş prinsipi

Yarımkeçirici istehsal sahəsində epitaxy prosesi yüksək performanslı yarımkeçirici cihazları uydurma üçün çox vacibdir. Bu prosesin mərkəzində keyfiyyət və səmərəliliyin təmin olunmasında mərkəzi rol oynayan EPI vafli sahibidirepitaxial böyümə.

EPI vafli sahibi ilk növbədə epitaxy prosesi zamanı vaflonu etibarlı şəkildə saxlamaq üçün hazırlanmışdır. Onun əsas vəzifəsi, vafferi dəqiq idarə olunan bir temperatur və qaz - axın mühitində saxlamaqdır. Bu diqqətli nəzarət epitaksial materialın vaffer səthinə, vahid və yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici təbəqələrin yaradılmasında kritik bir addım atılmasına imkan verir.

Epitaxy prosesinə xas olan yüksək temperatur şəraiti altında EPI vafli sahibi öz funksiyasında üstündür. Cazibələr kimi hər hansı bir potensial zərərdən qaçınmaq və vaffer səthində hissəciklərin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün reaksiya otağının içərisində vafleri möhkəm şəkildə düzəldir.

Maddi xüsusiyyətlər:NiyəSilikon karbid (sic)Parıltı

EPI vafli sahibləri tez-tez silikon karbiddən (SIC), faydalı xüsusiyyətlərin bənzərsiz birləşməsini təklif edən bir materialdan hazırlanmışdır. SIC, təxminən 4.0 x 10 / ° C-nin aşağı istilik genişləndirmə əmsalı var. Bu xarakterik, yüksək temperaturda sahibinin ölçülü sabitliyini qorumaq üçün əsasdır. İstilik genişlənməsini minimuma endirərək, temperaturdan başqa bir şəkildə nəticələnə biləcək gofretdəki stresin təsirini təsirli hala gətirir.

Bundan əlavə, SIC əla yüksək - temperatur sabitliyinə malikdir. Epitaxy prosesində 1,200 ° C-dən 1,600 ° C-ə qədər olan yüksək temperaturlara maneəsiz şəkildə dözə bilər. Fövqəladə korroziya müqaviməti və heyranedici istilik keçiriciliyi (ümumiyyətlə 120 - 160 w / mk arasındakı) ilə birlikdə, SIC epitaxial vafli sahibləri üçün optimal seçim olaraq ortaya çıxır.

Epitaxial prosesdə əsas funksiyalar

Epi gofret sahibinin epitaksial prosesdə əhəmiyyəti aşılaya bilməz. Yüksək temperatur və aşındırıcı qaz mühitində sabit bir daşıyıcı kimi fəaliyyət göstərir, epitaksial böyümə zamanı vafferin təsirsiz qalmasını və epitaxial təbəqənin vahid inkişafını artırmasını təmin edir.

1.Verfer fiksasiya və dəqiq uyğunlaşmaYüksək dəqiq bir mühəndisli EPI vafli sahibi, reaksiya otağının həndəsi mərkəzində vafleri möhkəm mövqedədir. Bu yerləşdirmə, vaffer səthinin reaksiya qaz axını ilə ideal bir əlaqə bucağını təşkil etdiyinə zəmanət verir. Dəqiq uyğunlaşma yalnız vahid epitaxial təbəqə çöküntüsünə çatmaq üçün vacib deyil, həm də vafli mövqe sapması nəticəsində yaranan stres konsentrasiyasını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

2.Uniform istilik və termal sahə nəzarətiSIC materialının əla istilik keçiriciliyindən istifadə etmək, EPI vafli sahibi yüksək temperatur epitaxial mühitdə vaflaya səmərəli istilik ötürməsini təmin edir. Eyni zamanda, istilik sisteminin temperatur yayılmasına gözəl nəzarət edir. Bu ikili mexanizm, həddindən artıq temperatur gradients səbəb olan istilik stresini effektiv şəkildə aradan qaldıran bütün vafli səthində ardıcıl bir temperatur təmin edir. Nəticədə, vafli çubuq və çatlaqlar kimi qüsurların ehtimalı xeyli minimuma endirilir.

3. Particle çirklənmə nəzarəti və material saflığıYüksək - Saflıq SIC substrates və CVD-nin istifadəsi - örtülmüş qrafit materialları bir oyundur - hissəcik çirklənmə nəzarətində dəyişdirici. Bu materiallar epitaxiya prosesi zamanı epitaxy prosesi zamanı hissəciklərin nəsil və yayılmasını əhəmiyyətli dərəcədə məhdudlaşdırır, epitaksial qatın böyüməsi üçün pristin bir mühit təmin edir. İnterfeys qüsurlarını azaltmaqla, epitaxial təbəqənin keyfiyyətini və etibarlılığını artırır.

4.Korroziya müqavimətiƏrzindəMocvdVə ya LPCVD prosesləri, EPI vafli sahibi ammiak və trimetil glum kimi aşındırıcı qazlara dözməlidir. SIC materiallarının görkəmli korroziyaya davamlılığı sahibinə sahibkarın geniş bir xidmət həyatına sahib olmasına imkan verir və bununla da bütün istehsal prosesinin etibarlılığına zəmanət verir.

Vetek yarımkeçiricisi tərəfindən xüsusi xidmətlər

Vetek yarımkeçiricisi müxtəlif müştəri ehtiyaclarını qarşılamaq üçün qərarlıdır. 100 mm, 150mm, 200 mm, 300 mm, 300 mm və daha o cümlədən müxtəlif vafli ölçülərə uyğun xüsusi epi vafli sahibi xidmətləri təklif edirik. Mütəxəssislər qrupumuz, tələblərinizə dəqiq uyğun olan yüksək keyfiyyətli məhsulların çatdırılmasına həsr edilmişdir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağınızdan səmimi şəkildə gözləyirik, üstü - notch yarımkeçirici həllər.

CVD SIC Film Kristal quruluşunun SEM məlumatları:

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri：

Müqayisə Yarımkeçirici EPI vafli sahibi istehsal sexləri: