Əvvəlcədən isitmə halqası

Əvvəlcədən istilik ring, semitonductor istehsalında epitaxial (EPI) prosesi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış əsas avadanlıqdır. EPI prosesindən əvvəl istilikdən əvvəl vafizələr üçün istifadə olunur, epitaksial böyümə boyunca temperatur sabitliyini və vahidliyini təmin edir.

Yarımkeçiricitərəfindən istehsal olunan EPI Pre Heat Ring bir sıra diqqətəlayiq xüsusiyyətlər və üstünlüklər təklif edir. Birincisi, yüksək istilik keçiriciliyi olan materiallardan istifadə edərək, vafli səthinə sürətli və vahid istilik ötürülməsinə imkan verir. Bu, qaynar nöqtələrin və temperatur gradientlərinin yaranmasının qarşısını alır, ardıcıl çökməni təmin edir və epitaksial təbəqənin keyfiyyətini və vahidliyini artırır. Bundan əlavə, EPI-nin istilik ringimiz inkişaf etmiş bir temperatur idarəetmə sistemi ilə təchiz olunmuşdur, əvvəlcədən və istilik istiliyinin dəqiq və ardıcıl nəzarətini təmin edir. Bu idarəetmə səviyyəsi, EPI prosesi zamanı kristal böyüməsi, maddi çökmə və interfeys reaksiyaları kimi həlledici addımların dəqiqliyini və təkrarlanmasını artırır.

Davamlılıq və etibarlılıq məhsul dizaynımızın vacib aspektləridir. EPI Pre Heat Ring yüksək temperaturlara və iş təzyiqlərinə tab gətirmək, uzun müddət ərzində sabitliyi və performansı qorumaq üçün qurulmuşdur. Bu dizayn yanaşması texniki xidmət və dəyişdirmə xərclərini azaldır, uzunmüddətli etibarlılığı və əməliyyat səmərəliliyini təmin edir. EPI Pre Heat Ring-in quraşdırılması və istismarı sadədir, çünki o, ümumi EPI avadanlığı ilə uyğun gəlir. Bu, rahatlığı və əməliyyat səmərəliliyini artıran, istifadəçi dostu vafli yerləşdirmə və axtarış mexanizminə malikdir.

Vetek yarımkeçiricisində xüsusi müştəri tələblərinə cavab vermək üçün özelleştirme xidmətləri də təklif edirik. Buraya bənzərsiz istehsal ehtiyacları ilə uyğunlaşdırmaq üçün EPI əvvəlcədən istilik halqasının ölçüsü, forması və temperatur aralığını dərziləşdirir. Epitaxial böyümə və yarımkeçirici cihaz istehsalında iştirak edən tədqiqatçılar və istehsalçılar üçün Vetek yarımkeçiricisi tərəfindən EPI əvvəlcədən istilik halqası müstəsna performans və etibarlı dəstək verir. Yüksək keyfiyyətli epitaxial böyüməyə və səmərəli yarımkeçirici cihaz istehsal proseslərini asanlaşdırmaqda kritik bir vasitə kimi xidmət edir.

CVD SIC filminin SEM məlumatları