Xəbərlər

ASM üçün SiC ilə örtülmüş qrafit sensoru yalnız epitaksiya sistemindəki əvəzedici hissə deyil. Bu, istilik vahidliyinə, vaflis təmizliyinə, örtüyün davamlılığına, kameranın dayanıqlığına və uzunmüddətli istehsal dəyərinə təsir edən proses baxımından kritik daşıyıcıdır.

CVD TaC örtük örtüyü yalnız qoruyucu qapaq və ya örtülmüş qrafit komponenti deyil. Yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslərdə o, kameranın təmizliyinə, istilik sabitliyinə, hissənin xidmət müddətinə və prosesin tutarlılığına təsir göstərə bilər.

PECVD istehsalında bir çox örtük və çökmə problemləri plazma gücü və ya qaz kimyası ilə başlamır. Onlar vafliləri saxlayan daşıyıcıdan başlayırlar.