Alüminium Nitrid (AlN) Seramik Elektrostatik Çubuq

1.Üstünlüklər

• Səmərəli istilik ötürülməsi və temperaturun vahidliyi üçün ~180 Vt/m·K qədər istilik keçiriciliyi ilə yüksək təmizlikli AlN keramika

• Güclü elektrik izolyasiyası və 1–3 kV-da sabit sıxışdırmağı dəstəkləyən yüksək həcmli müqavimət (daha yüksək gərginliklər mövcuddur)

• Xüsusi dielektrik təbəqə materialları və elektrod sxemləri: Coulomb və ya Johnsen-Rahbek (JR); tək və ya çox zonalı

• Sürətli sıxma və sıxışdırma performansı, adətən 0,1 saniyədən azdır

• Səth çuxurunun mikro strukturları ~300 μm diametrə qədər azalır, təmas sahəsini ~1%-ə qədər azaldır

• Yüksək düzlük qabiliyyəti; 300 mm sinif platformalar üçün 0,5-3 μm PV səviyyəsində tipik qlobal düzlük

• Sıfıra yaxın su udma qabiliyyətinə və proses mühitləri üçün yaxşı kimyəvi müqavimətə malik sıx mikro struktur

2.Tipik Tətbiqlər

Alüminium nitrid keramika elektrostatik çubuqlar həm təhlükəsiz vafli saxlama, həm də idarə olunan istilik davranışı tələb edən proses mərhələlərində istifadə olunur:

• Quru plazma aşındırma (ICP / RIE) və əlaqəli kamera prosesləri

• CVD, PEALD, termal ALD və digər nazik təbəqədə çökmə mərhələləri

• Vahid vafli temperatur tələb edən tavlama və istilik proses modulları

• Aşağı hissəcik və sabit sıxacın kritik olduğu təftiş, metrologiya və dəqiqlik mərhələləri

3.AlN Material Qiymətləri – Tipik Xüsusiyyətlər

VeTek, ESC dizaynları üçün istilik keçiriciliyi, mexaniki gücü və dəyərini tarazlaşdırmaq üçün bir çox Alüminium Nitrid markaları təklif edir:

Vahidlər: W/(m·K) ilə istilik keçiriciliyi; kV/mm-də dielektrik gücü; Ω·sm-də (25 °C) həcm müqaviməti; 1 MHz-də dielektrik sabiti. Dəyərlər tipikdir və proses və hissənin həndəsəsi ilə fərqlənə bilər.

4.Tipik ESC Dizayn Parametrləri

5.Niyə Choose VeTek AlN Elektrostatik Chucks?

VeTek Semiconductor həm istilik performansına, həm də etibarlı sıxmağa ehtiyacı olan yarımkeçirici müştərilər üçün qabaqcıl AlN keramikasını dəqiq ESC istehsalı ilə birləşdirir:

• Prosesin istilik büdcələrinə uyğunlaşmaq üçün ~90 ilə ~180 W/m·K arasında istilik keçiriciliyi ilə çoxlu AlN dərəcələri

• Coulomb və ya JR sıxma davranışı üçün çevik elektrod və dielektrik dizayn

• Düzlük, səthin mikro strukturu və elektrik izolyasiya performansına ciddi nəzarət

• Tam həyat dövrü dəstəyi: dizayn, yeni quruluş və çox səviyyəli təmir

Vahid vafli temperaturdan və təmiz, təkrarlanan sıxışdırmadan asılı olan aşındırma, çökmə və termal alətlər üçün VeTek Alüminium Nitrid Keramika Elektrostatik Çubuklar, tətbiq yönümlü mühəndis dəstəyi ilə dəstəklənən yüksək performanslı keramika platformasını təmin edir.