Xəbərlər

Elektron şüası ilə buxarlanma, buxarlanma materialını elektron şüa ilə qızdıraraq, onun buxarlanmasına və nazik bir təbəqə halına gəlməsinə səbəb olan müqavimətli qızdırma ilə müqayisədə yüksək səmərəli və geniş istifadə olunan bir örtük üsuludur.

Vakuum örtükləri film materialının buxarlandırılması, vakuum nəqliyyat və nazik film böyüməsi daxildir. Fərqli film maddi buxarlanma metodları və nəqliyyat proseslərinə görə, vakuum örtükləri iki kateqoriyaya bölmək olar: PVD və CVD.

Bu məqalədə Vetek yarımkeçiricinin məsaməli qrafitinin fiziki parametrləri və məhsul xüsusiyyətlərini, habelə yarımkeçirici emalda xüsusi tətbiqləri təsvir edilmişdir.