Sənaye xəbərləri

Mövcud texnologiyalar arasında Böyük ölçülü müqavimət qızdıran SiC kristal inkişaf sobası təkmilləşdirilmiş konsistensiyalı və səmərəliliyi ilə böyük diametrli, aşağı qüsurlu SiC kristallarının istehsalı üçün kritik həll yolu kimi ortaya çıxdı. Bu məqalə bu texnologiyanın necə işlədiyini, üstünlüklərini, tətbiqlərini və sənaye liderlərinin Veteksemi-nin innovativ həllərinə niyə etibar etdiyini araşdırır.

ASM üçün SiC ilə örtülmüş qrafit sensoru yalnız epitaksiya sistemindəki əvəzedici hissə deyil. Bu, istilik vahidliyinə, vaflis təmizliyinə, örtüyün davamlılığına, kameranın dayanıqlığına və uzunmüddətli istehsal dəyərinə təsir edən proses baxımından kritik daşıyıcıdır.

CVD TaC örtük örtüyü yalnız qoruyucu qapaq və ya örtülmüş qrafit komponenti deyil. Yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslərdə o, kameranın təmizliyinə, istilik sabitliyinə, hissənin xidmət müddətinə və prosesin tutarlılığına təsir göstərə bilər.