CVD sic örtük qoruyucu

Məhsul yerləşdirmə və əsas funksiyalar:

CVD SIC Coating Protector, əsasən reaksiya otağının daxili quruluşunu qorumaq və proses sabitliyini yaxşılaşdırmaq üçün istifadə olunan LPE silikon karbid epitaxial avadanlıqların əsas komponentidir. Onun əsas funksiyalarına aşağıdakılar daxildir:

Korroziya qorunması: Kimyəvi buxarlanma (CVD) prosesi tərəfindən yaranan silikon karbid örtüyü xlor / flüor plazmasının kimyəvi korroziyasına qarşı çıxa bilər və tort avadanlıqları kimi sərt mühitlərə uyğundur;

Termal rəhbərliyi: Silikon karbid materialının yüksək istilik keçiriciliyi reaksiya otağında temperaturun vahidliyini optimallaşdırır və epitaksial qatın keyfiyyətini artırır;

Çirklənmənin azaldılması: astarlı bir komponent olaraq, o, məhsulların birbaşa ilə birbaşa əlaqə qurmasının və avadanlıqların istismar dövrünü genişləndirməsinin qarşısını ala bilər.

Texniki xüsusiyyətlər və dizayn:

Struktur dizayn:

Adətən, üzük şəklində qoruyucu quruluş yaratmaq üçün tepsinin ətrafında simmetrik şəkildə quraşdırılmış yuxarı və alt yarım ay hissələrə bölünür;

Tepsilər və qaz duşu kimi komponentlərlə əməkdaşlıq, hava axınının paylanması və plazma fokuslanması effektlərini optimallaşdırmaq üçün.

Kaplama prosesi:

CVD metodu yüksək saflıq sic örtükləri, ± 5%, ±≤0.5μm qədər aşağı olan bir səth pürüzünün vahidliyi ilə yüksək saflıq sic örtükləri və bir səth pürüzünün yaradılması üçün istifadə olunur;

Tipik örtük qalınlığı 100-300μm-dir və 1600 ℃ yüksək temperatur mühitinə tab gətirə bilər.

Tətbiq ssenariləri və performans üstünlükləri:

Tətbiq olunan avadanlıqlar:

Əsasən LPE-nin 6 düymlük 8 düymlük 8 düymlük silikon karbid epitaxial sobası üçün istifadə olunur, SIC homoepitaxial böyüməsini dəstəkləyir;

Yüksək korroziya müqaviməti tələb edən mocvd avadanlığı və digər ssenarilər üçün uyğundur.

Açar göstəricilər:

Termal genişləndirmə əmsalı: 4.5 × 10⁻⁶ / k (istilik stresini azaltmaq üçün qrafit substratına uyğun);

Müqavimət: 0,1-10ω · sm (iclas keçiricilik tələbləri);

Xidmət müddəti: Ənənəvi kvars / silikon materiallarından 3-5 dəfə uzun.

Texniki maneələr və problemlər

Bu məhsulun uzatma vahidliyi (kənar qalınlıq kompensasiyası) və substrat örtüklü interface bağlama optimallaşdırılması (≥30mpa) kimi problemlərin çətinliklərini aradan qaldırmaq lazımdır və eyni zamanda LPE avadanlıqlarının yüksək sürətli fırlanmasına (1000rpm) və temperaturun temperaturu uyğunlaşdırılması lazımdır.