SiC örtüklü giriş halqası

Yüksək keyfiyyətli sic örtük inlet üzüyü Çin istehsalçısı Vetek yarımkeçiricisi tərəfindən təklif olunur. Aşağı qiymətə birbaşa yüksək keyfiyyətli olan sic örtüklü giriş üzüyü alın.

Vetek Semiconductor, üçüncü nəsil SiC-CVD sistemləri üçün SiC Coating Inlet Ring kimi SiC örtüklü qrafit komponentlərinə diqqət yetirərək, yarımkeçirici sənayesi üçün hazırlanmış qabaqcıl və rəqabətqabiliyyətli istehsal avadanlıqlarının təchiz edilməsində ixtisaslaşır. Bu sistemlər Schottky diodları, IGBT-lər, MOSFET-lər və müxtəlif elektron komponentlər kimi güc cihazlarının istehsalı üçün vacib olan silisium karbid substratlarında vahid monokristal epitaksial təbəqələrin böyüməsini asanlaşdırır.

SiC-CVD avadanlığı yüksək istehsal gücü, 6/8 düymlük vaflilərlə uyğunluq, qənaətlilik, çoxsaylı sobalarda davamlı avtomatik artım nəzarəti, aşağı qüsur dərəcələri və temperatur vasitəsilə rahat texniki xidmət və etibarlılıqda nəzərəçarpacaq üstünlüklər təklif edərək, proses və avadanlıqları qüsursuz birləşdirir. və axın sahəsinə nəzarət dizaynları. SiC Coating Inlet Ring ilə birləşdirildikdə avadanlığın məhsuldarlığını artırır, istismar müddətini uzadır və xərcləri effektiv şəkildə idarə edir.

Vetek Yarımkeçirici SiC Kaplama Giriş Halqası yüksək təmizlik, sabit qrafit xassələri, dəqiq emal və CVD SiC örtüyünün əlavə faydası ilə xarakterizə olunur. Silikon karbid örtüklərinin yüksək temperaturda dayanıqlığı, ekstremal mühitlərdə substratları istilik və kimyəvi korroziyadan qoruyur. Bu örtüklər həmçinin yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti təklif edir, substratın uzun müddət xidmət müddətini, müxtəlif kimyəvi maddələrə qarşı korroziyaya davamlılığı, azaldılmış itkilər üçün aşağı sürtünmə əmsalları və səmərəli istilik yayılması üçün təkmilləşdirilmiş istilik keçiriciliyi təmin edir. Ümumilikdə, CVD silisium karbid örtükləri hərtərəfli qorunma təmin edir, substratın ömrünü uzadır və performansı artırır.

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xüsusiyyətləri:

İstehsal sexləri:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: