Sənaye xəbərləri

CVD TAC örtüyü bir substratda (qrafitdə) sıx və davamlı bir örtük yaratmaq üçün bir prosesdir. Bu üsul TAC-ni substrat səthinə qədər yüksək temperaturda yatırmağı ehtiva edir, nəticədə əla istilik sabitliyi və kimyəvi müqavimət göstərən bir tantal karbid (TAC) örtüyü ilə nəticələnir.

8 düymlük silisium karbid (SiC) prosesi yetişdikcə, istehsalçılar 6 düymdən 8 düymədək keçidi sürətləndirirlər. Bu yaxınlarda ON Semiconductor və Resonac 8 düymlük SiC istehsalı ilə bağlı yeniləmələri elan etdi.

Bu məqalə, İtalyan şirkəti LPE-nin yeni hazırlanmış PE1O8 isti divar CVD reaktorundakı son inkişafları və 200MM SIC-də vahid 4h-sic epitaxy-ni yerinə yetirmək imkanı təqdim edir.

Güc elektronikasında, optoelektronikada və digər sahələrdə SiC materiallarına artan tələbat ilə SiC monokristal böyüməsi texnologiyasının inkişafı elmi və texnoloji innovasiyaların əsas sahəsinə çevriləcəkdir. SiC monokristal inkişaf etdirmə avadanlığının əsas hissəsi olaraq, istilik sahəsinin dizaynı geniş diqqət və dərin tədqiqat almağa davam edəcəkdir.

Davamlı texnoloji tərəqqi və dərin mexanizm araşdırması sayəsində 3C-SiC heteroepitaksial texnologiyasının yarımkeçirici sənayedə daha mühüm rol oynaması və yüksək səmərəli elektron cihazların inkişafını təşviq etməsi gözlənilir.

Spatial Ald, məkan olaraq təcrid olunmuş atom təbəqəsi çöküntüsü. Dafer fərqli mövqelər arasında hərəkət edir və hər mövqedə fərqli prekursorlara məruz qalır. Aşağıdakı rəqəm ənənəvi Ald və məkan olaraq təcrid olunmuş Ald arasında bir müqayisədir.