Yüksək keyfiyyətli və yüksək məhsuldar silikon karbid substratlarının hazırlanmasında, nüvə yaxşı istilik sahəsi materialları ilə istehsal temperaturuna dəqiq nəzarət tələb edir. Hal-hazırda, əsasən istifadə olunan termal sahə çarxları, əsasən istifadə olunan yüksək saflıq qrafit struktur komponentləridir, həm də istiliyi qorumaq üçün ərimiş karbon tozu və silikon tozu olanlardır.
Üçüncü nəsil yarımkeçiriciləri görəndə, şübhəsiz ki, birinci və ikinci nəsillərin nə olduğunu düşünəcəksiniz. Burada "nəsil" yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan materiallar əsasında təsnif edilir.
Elektrostatik Chuck (ESC, E-Chuck) kimi də tanınan elektrostatik Chuck (ESC), adsorbed materialı tutmaq və düzəltmək üçün elektrostatik adsorbsiyasının prinsipindən istifadə edən bir armaturdur. Vakuum və plazma mühitləri üçün uygundur.
Biz sizə daha yaxşı baxış təcrübəsi təklif etmək, sayt trafikini təhlil etmək və məzmunu fərdiləşdirmək üçün kukilərdən istifadə edirik. Bu saytdan istifadə etməklə siz kukilərdən istifadəmizlə razılaşırsınız.Məxfilik Siyasəti